氮化铝薄膜
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磁控溅射法镀制氮化铝薄膜特性研究
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氮化铝薄膜的椭偏法研究
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氮化铝薄膜的光学性质(英文)
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制备氮化钛铝薄膜及其机械性能的研究
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