硅微压力传感器
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4.3 硅压阻式微型压力传感器
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4.3 硅压阻式微型压力传感器《电气测试技术(第4版)》教学课件
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基于纳米硅薄膜的高灵敏度超微压压力传感器研制
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硅压阻式微传感器的制造工艺研究
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