直拉单晶硅体生长过程中的控氧技术研究

剩余1页未预览,继续预览

直拉硅单晶工艺简介

单晶硅生长原理及工艺

直拉硅单晶的氧和碳

直拉单晶硅

直拉单晶硅中的位错

单晶硅设备工艺流程

随机推荐

其他